光谱物理技术问答：解决UVps激光器加工聚合物OLED材料的诸多难题

本文摘要：3月18日，由中国高科技行业门户OFweek维科网主办，OFweek激光网主办的“OFweek2020（第六届）中国激光在线展览”如期举行。展览期间，MKS／Spectra－Physics举行了一场主题为“UVps激光加工聚合物OLED材料，用作下一代5G和可拆卸消费电子设备”的在线研讨会，光谱物理应用于和技术支持经理田志宏以主讲人身份与大家展开了技术共享。

3月18日，由中国高科技行业门户OFweek维科网主办，OFweek激光网主办的“OFweek2020（第六届）中国激光在线展览”如期举行。展览期间，MKS／Spectra－Physics举行了一场主题为“UVps激光加工聚合物OLED材料，用作下一代5G和可拆卸消费电子设备”的在线研讨会，光谱物理应用于和技术支持经理田志宏以主讲人身份与大家展开了技术共享。

直播总结如下：研讨会期间，观众热情高涨，社会各界发问，现将其中部分解说整理如下：环绕OLED应用于：1.目前激光技术用作OLED的应用于案例有哪些？明确应用于案例现在早已很普遍了。早于在几年前韩国的三星、LG发售OLED屏幕的时候，激光就早已深深地插手进来，还包括现在国内的几大厂商都在引入生产OLED屏的装备，所以说道激光在这一块的应用于早已十分普遍。2.为何皮秒激光合适用作OLED聚合物的加工？要看整个的工艺拒绝。

对OLED而言，其聚合物材料对热影响尤其脆弱，再加现在做到的cell的尺寸、间隔都十分小，留给的加工尺寸也尤其小，像以前的传统模切工艺早已呼吸困难用作当今的生产市场需求了，而且现在还有异型屏、纸带屏的应用于市场需求，堪称远超过了传统工艺的能力范畴。这样激光的益处就反映出来了，特别是在是皮秒紫外，甚至飞秒激光，它的热影响区小，而且更加合适曲线加工这种更为灵活性的应用于。

3.Spectra－Physics的飞秒激光器否某种程度限于于OLED加工？与皮秒比起有何详？飞秒激光器也可以用在OLED的加工当中。我们做到过适当的对比测试，由于飞秒激光器的起到时间更加较短，某种程度参数下它比起于皮秒激光器来说产生的热影响区更加小。现在实质上国内有一些厂商早已在产线当中，早已使用飞秒激光用作OLED的加工。

4.目前UV皮秒和飞秒都能应用于OLED模组切割成，屏厂趋向于UV飞秒。直说UV皮秒比较飞秒有何优势？就现在来看，皮秒相对于飞秒的优势在价格方面。

屏厂趋向于飞秒，更好是正处于对加工品质方面的拒绝。5.OLED激光加工的难题与趋势是什么？若提及难题，特别是在是小尺寸的加工当中，少见的主要是冷影响区以及加工效率。

现在的趋势就是朝着解决问题这两个问题的方向，一是往飞秒的方向发展，二是更高的频率和更高的功率，各大激光器厂商也在往这个方向希望。6.如何提升激光在OLED加工上的精度？加工精度是个系统问题：控制器，运动平台本身的精度是基础，加装调校某种程度也不会影响精度！7.如何提高材料热效应？如何解决问题拐角处短路问题？这方面公开发表的资料有很多涉及辩论，理论上两个方面：1．尽量减少热输出，如使用更加较宽脉长的激光器，或更加较短波长；2．在加工参数上做文章，比如多次较慢扫瞄，如果是大面积多个图案的话，可以使用天内交叉加工的方法。在转角处目前主流的方法：1．使用速度更慢的振镜（如果是用振镜方式加工）；2．方位实时启动时（PSO）；3．如果是尖角，多使用平台（振镜）‘绕’－－在尖角处平台／振镜沿轨迹延长线按原本速度卡住再行转到沿尖角另一条边的延长线回去，在尖角处及时重开激光。

8.切割成中否不会经常出现进灰、吸气、分层等现象？这个可以通过加工参数来掌控。OLED材料在加工当中认同不会有粉尘产生，必须有很好的除尘系统。分层主要是冷影响区导致的，必须很好地去掌控加工参数，来防止分层的现象产生。

9.现在激光加工的热影响区大于能到多少？这和材料以及加工参数是有关系的，从理论上来讲，飞秒激光可以做完全没热影响区，或者用一般的检测手段（如显微镜）无法检测出来。10.UVps激光加工聚合物OLED材料在手机行业应用于中的生产稳定性和良率怎么样？生产的稳定性主要有两个方面，一是激光器本身的稳定性，比较来讲国外厂商的激光器不会更加平稳，国内厂商也大大的在追上上来；良率和激光器本身的品质有关系，和加工参数掌控以及整个系统的构建的仪器程度，以及精度都有关系。11.OLED激光挤压这块，最难做的是归属于哪些方面（指工艺方面）？如果从设备构建上来讲，较为难做的应当是光束整形这方面，现在如果激光器也获取的话是没问题。

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